• 日付：5月31日（火） 13:00-17:30
• 会場：村田機械（株） 本社会議室（京都）　他セミナーと異なります。ご注意ください。
• 協賛：（社）日本半導体製造装置協会（SEAJ）
• 参加費用（消費税別）：3,000円
• 講演資料：ダウンロードのみ（当日配布なし）
  ※お申込みの方には、5月27日（金）にダウンロード用のURLをEメールでお送りします。
  ※講演資料にはSEMI S17などSEMI安全ガイドラインの全文は含まれません。
  　SEMIスタンダード/安全ガイドラインのご購入は、「SEMIスタンダード出版物」のご案内をご参照ください。

本プログラムは定員に達しました。
お申込みどうもありがとうございました。

プログラム概要

半導体/FPD工場の大規模化、生産性向上、工場空間の有効利用の面から、工場で使用される無人搬送車は現在空間搬送車が主役となっており、100台超規模の空間搬送車が運用される工場も数多くあります。また、搬送スピードも高速化されてきています。そのような中、人身事故に至るリスクは特に製造装置と搬送車との境界領域付近に存在する可能性が指摘されており、実際に装置設置、改造、サービス、メンテナンスを行う際、作業者と空間搬送車との干渉リスクが報告されています。これらリスクを低減し作業者の安全を担保するには、工学的手法、管理的手法の両面から安全化への方策を検討する必要があります。

本ワークショップは、セミコン･ジャパン2010に実施し大反響を得たワークショップの第二弾として開催します。まず、セミコン・ジャパン2010での議論をおさらいし、本年3月に全面改訂出版されたSEMI S17※（無人搬送台車システムの安全ガイドライン）を中心にSEMI S19※（安全トレーニング）、S21※（作業者保護）、S24※（複数企業同時作業エリアの安全）など上記問題の改善に有効なSEMI安全ガイドラインを紹介した後、半導体/FPD工場における空間搬送車通行ゾーン付近を取り上げ、ユーザ、装置サプライヤ、搬送機サプライヤから観た現場の安全懸念を共有します。さらに、各ステークホルダーを代表するパネラーとともに、工場における安全化をどのように実現していくべきかについて共に考えます。

SEMI S17の開発経緯や改訂活動の概要については、紹介記事をご覧ください。

※正式タイトルは以下のとおりです。
SEMI S17　無人搬送台車（UTV）システムの安全ガイドライン
SEMI S19　半導体製造装置の設置、保守、サービス要員のトレーニングのための安全ガイドライン
SEMI S21　作業者保護のための安全ガイドライン
SEMI S24　複数企業同時作業エリアの安全ガイドライン

 プログラムチェア

インテル株式会社
佐倉 英俊 

アジェンダ