SEMICON Taiwan 2012「綠色製程技術趨勢論壇」 

專訪台積電、聯電、先進科材、安全衛生技術中心 

分享打造綠色競爭力的行動與成果 (上) 

隨著全球氣候環境變遷、自然資源消耗殆盡，環保意識逐漸抬頭，深入人心的綠色理念影響消費行為，帶動全球製造業生產技術改革旋風，因此綠色競爭力已經成為企業新的核心競爭優勢。 

為此，SEMI特別採訪了台灣半導體製造業龍頭—台積電、聯電與致力半導體材料綠色研發製造的先進科材(以下稱ATMI)，以及財團法人安全衛生技術中心(Safety and Health Technology Center)，針對綠色製程技術趨勢進行論談，期盼藉由這些領導廠商與推動單位在綠色環保領域的積極作為，引導台灣更多的高科技廠商，找到因應綠色趨勢下的企業成功戰略，打造產業的綠色競爭力。 

受訪者： 

採訪內容整理如下： 

問: 綠色製造已成為全球各產業的發展重點，請問：貴公司作了那些措施、投入了哪些資源以因應這股綠色潮流？目前具體成效如何? 明年的目標為何? 

Lou Blanchard: 

ATMI致力推廣具環保概念的服務，在技術研發上實施所謂的綠化學和綠工程12準則(The 12 Principles of Green Chemistry and Green Engineering)已有多年的歷史，而且不僅現在如此，未來也會在產業界內持續遵循這些原則。 

其中綠化學12準則是用來規範化學產品的設計和製造，藉此來減少及避免使用和/或產生有毒物質。至於綠工程12準則則是運用在產品設計、商品化、和製造過程中，以合理可行且節約經濟的手段，從源頭就做到減少污染的產生並降低對人類健康與環境造成危害的因子。這些已獲美國環保署(EPA)認可的準則囊括了許多的重要觀念，譬如原子經濟(atom economy)、更安全的化學用品、以及效率最佳化等等。 

藉由將這些準則落實在實際的運作上，ATMI就能為半導體製程處理步驟特別規劃一套定制的清洗化學物以符合永續環保的綠色概念。事實上，我們所研發出來的這套新的化學方案已在去年獲得了美國環保署的環保設計(Design for the Environment，DfE)安全標章，也是半導體產業界中第一個取得此項認證殊榮的產品。 

問：供應鏈管理已被視為一種落實綠色製造具體且有效的方式，身為綠色企業先行者，請問貴公司如何影響供應鏈來落實綠色製造，整合供應商成為綠色價值鏈？ 

許芳銘： 

台積電檢視自身安全與衛生的每個環節，也致力將溫室氣體的排放量減到最低，終於成果逐漸顯現。同時，台積公司致力建置「綠色供應鏈」，關注全球環境保護的議題，並發揮影響力促使供應鏈廠商跟進，透過定期舉辦的供應鏈研討會、廠商稽核，帶領供應商在綠色製造上不斷提升。 

評核供應商綠色環保績效的項目眾多，包含節能減碳、水資源與節水、綠色產品與有害物質管制、廢棄物資源化、第二層供應商環境績效、設立環境管理系統與環境目標。在節能減碳方面，供應商必須建置自身工廠的碳盤查資料、提供具體的減碳績效並建立產品碳足跡。在水資源與節水方面，供應商需建置自身的水盤查資料、提供具體的水資源管理計劃。在綠色產品與有害物質管制方面，因應全球有害物質管制與生態友善的產品規範，台積公司與供應商合作符合國際間PFOS/PFOA/Conflict Mineral Management/RoHS/REACH等全球化學品管制規範。在廢棄物資源化方面，供應商必須持續廢棄物減量並提升資源回收再利用的比例。在第二層供應商環境績效方面，供應商必須敦促其上游供應商，進行環境保護與節能減碳、節水的相關措施，擴大節能環保的影響範圍。在設立環境管理系統與環境目標方面，供應商必需擁有ISO 14001、RC 14001等或其它相關環境管理系統的驗證。 

其它環境保護活動則包括採用綠色採購、設計綠建築、推動綠色辦公室計劃與對員工進行環保教育宣導等。 

高慶揚： 

供應商是聯電營運成長茁壯的重要夥伴，在提昇企業永續競爭力的過程中，供應商的努力與支持是不可或缺的一環，聯電對於供應商的要求，已從原有的符合相關工安環保要求，擴大為號召全球供應商一同重視與推動企業社會責任，且基於公平政策、保障人權原則，聯電向供應商表達對衝突礦產議題的關注，強調應避免產品原料與生產過程使用到侵犯人權的非法採礦之金屬，確保聯電採購之原物料均不含衝突金屬。 

聯電規劃全面供應商管理方式，以供應商教育訓練、綠色管理、供應商分級輔導、供應商評比四大面向進行控管與輔導，期建立永續成長之供應鏈管理機制。 

在供應商教育訓練方面，不定期舉辦供應商教育訓練課程並宣導及溝通聯電推展之供應鏈管理做法。在綠色管理方面，規劃綠色分級輔導、供應商之有害物質管理評比、低碳供應鏈夥伴推動計畫。在供應商分級輔導方面，依造供應商之特性及風險性做等級區分、於年度供應商稽核依據其區分等級評比、依據評比結果輔導以符合公司要求。在供應商評比方面，依據供應商平格機制進行評分、針對評比分數低於聯電要求之供應商，停止採購或取消其合格供應商資格。

SEMICON Taiwan 2012「綠色製程技術趨勢論壇」 

專訪台積電、聯電、先進科材、安全衛生技術中心 

分享打造綠色競爭力的行動與成果 (下) 

繼昨日針對ATMI (先進科材)、台積電與聯電分享因應綠色潮流投入資源與成效，以及在供應鏈管理落實綠色價值鏈後，今日將繼續介紹上述企業邁向永續經營所獲得的綠色認證與肯定，以及分享維持綠色競爭力與兼顧企業發展的策略，此外，環保推動單位財團法人安全衛生技術中心(Safety and Health Technology Center)也介紹協助企業打造綠色供應鏈的篩選與評估系統，ATMI 則強調環保及安全的材料才是有效且經濟可行的優化方案。 

受訪者： 

問：RoHS、LEED等國際環保標準，已被許多企業所採用，用以提升企業的競爭力與永續經營能力，請分享貴公司邁向永續經營所獲得的綠色認證與肯定為何? 取得過程中的努力為何?  並分享國際產業技術標準在貴公司的應用情況？ 

許芳銘： 

台積電在有害物質管理方面(如RoHS)，透過建立產品有害物質管理系統─ QC 080000持續確保所生產的晶圓及外包之後段封裝產品均符合國際法規及客戶對有害物質管理相關要求。 

此外，台積電是國內擁有最多綠建築認證的企業，自2005年以來全面推動新建廠綠建築，承諾所有的新建廠房與辦公大樓全數依據最新的綠建築標準來規劃興建，並將綠建築觀念用以改善既有廠房的環境績效。此計劃採行美國LEED（Leadership in Energy and Environmental Design）與台灣綠建築EEWH（Ecology, Energy Saving, Waste Reduction and Health）標準，自民國九十七年迄今已經榮獲四個LEED黃金級綠建築認證，包含台南晶圓十四廠三期廠房、新竹晶圓十二廠四期廠房、台南晶圓十四廠四期廠房以及新竹晶圓十二廠四期辦公大樓；同時期也獲頒三個台灣EEWH鑽石級綠建築認證，包含台南晶圓十四廠三期廠房、新竹晶圓十二廠四期廠房以及新竹晶圓十二廠四期辦公大樓。

高清揚:

聯電台南科學園區Fab 12A廠第三、四期新建廠房已通過美國綠建築協會(U.S. Green Building Council, USGBC)綠建築評估系統審查，獲得「前瞻能源與環境設計 – 新建工程類」 (Leadership in Energy and Environmental Design – New Construction, LEED-NC)之黃金級認證。這是該廠繼2011年取得台灣EEWH(Ecology, Energy Saving, Waste Reduction and Health) 黃金級綠建築標章後，再次獲得綠建築肯定。

FAB 12A P3 & P4新建廠房，是聯華電子最先進的12吋晶圓廠，從廠房設計、建造、製程研發到生產營運等，各層面都導入綠建築的環保低碳設計。在節電方面，採用了包括新一代節能型真空泵、先進的固態冷卻系統及排氣回收設計、尖端的能源管理監視整合系統…等結構性節能措施，與第一、二期廠房相比，預估總體可帶來約8.5%的節能效益，比美國冷凍空調協會（ASHRAE）所公佈之評量基準再減少29.3%的能源消耗。而在水資源節約成效上，則透過更精密的製程水回收設計與技術，整體製程用水回收率將挑戰至90%，2011年FAb 12A全廠回收水量已達600萬噸以上，相當於6.5萬人的年用水量。

在綠色產品責任方面，聯電為確保產品符合歐盟RoHS(Restriction of the use of certain Hazardous Substances in electrical and electronic equipment) 指令等國際環保法規，及客戶管制有害物質的要求，聯電率先完成有害物質流程管理系統第三方驗證及第三方公正實驗室定期檢測產品有害物含量，以落實產品安全無毒性之要求。此外，聯電完成產品碳足跡、水足跡之查證，以減低製程中對環境之衝擊，善盡綠色產品責任。

在有害物質限用管理方面，為確保產品遵循歐盟對電子產品所列限用物質（如RoHS）法令要求及全球化學品管制規範，也為符合客戶需求，聯電採取有害物質限用管理措施，例如: 建立有害物質管制清單、建立原物料綠色採購程序、有害物質管理系統驗證及產品檢測等，並於2006年領先全球半導體製造商，完成有害物質流程管理HSPM 系統第三方驗證，成為全球第一家所有廠區均取得國際標準QC080000 IECQ HSPM 證書的半導體製造商體製造商。

于樹偉:

安全衛生技術中心協助企業邁向永續經營，並協助打造高科技產業綠色供應鏈，我們提供供應商或承攬商篩選及評估系統、承攬商職業安全衛生管理系統建置、設備或機台SEMI S2安全認證、符合GHS要求之物質安全資料表，以確保設備、承攬作業及化學品安全。除了協助綠色供應鏈符合國際發展趨勢外，也可創造許多綠色商機。

問：許多企業認為實施環保所費不貲，以致於在綠色製造的推動裹足不前。請問，您認為維持企業發展和盈利和提升綠色競爭力相互衝突嗎? 如何能兼顧企業永續發展與環境保護?

Lou Blanchard:

針對這一點，我們公司有個相當獨特的看法。一直以來，ATMI就以「The Source of Process Efficiency」做為公司的企業標記，甚至以此來代表公司的經營理念，但什麼是「Process Efficiency」呢？簡單地說，就是要達到高效率的製程，而「效率」這兩個字其實指的就是一種轉換率，換個說法則是當輸入進行轉換後，能以最少損失而獲得最佳結果就是效率，因為損失越少就表示效率越高，再舉個例來說明，在輸入為二卻只得到一個輸出時，就代表此一做法的效率僅達到50%而已。那麼，到底當我們提到「永續發展」這個概念時指的又是什麼呢？我想應該是將社會、環境和經濟發展這些議題均匯聚融合在一起，並以一視同仁的角度來平等對待。

因為在我們的看法裡，效率實際上是可以帶動永續發展的，因為效率的基本概念就是將減少浪費的做法最大化，進而讓輸出可以最佳化。

也許你會有疑慮：為了安全的原故而使用別種物質來當做封裝材料，真得可以讓客戶減少他們在環境、健康、安全(EHS)方面所投入的成本嗎？我們的答案是：絕對可以。那如果能非常高效地使用臨界流體(critical fluid)這種物質，是否就能降低材料的運輸成本，並且還同時提高客戶的材料使用率呢？相信我當然可以，因為我們早就已經在這麼做了。若所使用的最佳化製程步驟和加工材料是以超越固有分子結構的思維而開發出來的新製程方法，就能避掉冗長和昂貴的開發週期嗎？以我們眾多的實際案例來看，它不但是經常被使用的方法，還能以更快的速度、更高的效率、滿意的效果來達成客戶所訂定的目標，此外我們還會投入更多資源於其中，因為從整體的角度來看，我們相信還要做更多的事、盡更大的努力才能確保先進的製程是可被環境接受的、符合社會公平的、以及是經濟可行的製造方法。

許芳銘：

環境保護為企業永續發展之重要一環，我們認為維持企業發展與盈利和提升綠色競爭力並不相互衝突。企業除了符合法規規定必須付出污染防治成本外，事實上，許多環保計畫是具有經濟效益的，例如減少能資源與原物料之耗用，不但可節省成本，同時亦可減少污染物及廢棄物產生、減少污染防治與廢棄物處理成本，既省錢又環保。因此，台積電藉由全面建制ISO14001環境管理系統，以PDCA(計畫、執行、監測、行動)之管理模式，持續推動具經濟效益的環保計畫，以綠色製造節省生產成本，提升公司競爭力。

于樹偉:

綠色競爭力是台灣高科技產業可和韓國、中國大陸高科技產業區分的競爭優勢之一，綠色生產初期投資也許高於傳統設計和製造方式，但投資報酬率卻是長期的。加上環保意識逐漸抬頭，深入人心的綠色理念影響消費行為，綠色生產是企業永續經營最佳的途徑。

問: 在邁向先進製程的產業趨勢下，半導體材料也變得越來越重要了。從材料供應商的角度來看，您如何協助客戶開發先進的解決方案以提高產量，同時亦能遵守對環境友善的承諾，還要以新製程為客戶創造更多商機？

Lou Blanchard:

確實如此，隨著技術不斷地推陳出新讓14nm節點的半導體產品與相關製程逐漸進入商業化階段，其超過1500個製程步驟中卻可能會需要用到120種以上的獨特製程材料，但顯然地，技術研發過程中可能被列為候選材料和製程方法的種類之多、範圍之廣其實遠超過最終會被採用的標準方案。因此在開發材料和製程方法時，客戶的績效目標、評價等級、時效性、以及製造策略等都是非常重要的關鍵因素，所以非常需要與客戶進行相關的協商與溝通。

為此，ATMI已開發並建置了具有高生產力的開發平台(High Productivity Development platform)，並希望積極地與我們的全球客戶有更密切的互動，如此一來，當面對使用何種材料的挑戰時，就能比傳統方式高出二至五倍的速度來找出最適合的解決方案。

而不論客戶要的是減少使用有害物質，亦或是想尋找更為環保及安全的材料，我們這種獨一無二的實力都能協助客戶設計出更有效且經濟可行的優化方案。