打造產業綠色競爭力 

ATMI落實綠化學12準則  半導體製造生產效益和環保兼顧

綠色議題全球發燒，全球製造業正颳起一陣生產技術改革旋風，高生產率及低成本已不再是唯一準則，「綠色產品」和「綠色製程技術」將成企業的新競爭優勢。

綠色製造的重點在於節能、省水、有毒物質處置、廢棄物減量、廢氣排放減量，以及符合各種環保指標。全球領導半導體、面板和LED廠商都不約而同指出，該從製造源頭就導入綠色設計概念(Design for Green Manufacturing)。

有鑑於此，SEMI去年邀集台灣半導體、面板、太陽能、LED產業代表與相關設備材料商，籌組「SEMI高科技綠色製程委員會」，以SEMI環境衛生安全(EHS)產業標準為基礎，從原料和設備研發著手，要凝聚業界，共同提升台灣的綠色競爭力。今年，SEMI更在SEMICON Taiwan中再次推出「綠色製程及廠務管理專區」，而全球化學材料領導供應商— ATMI (先進科材) 也首次參展，展示該公司在綠色材料的研發理念與新的解決方案。

ATMI的產品iCleaner在今年7月份獲得美國環境保護局的「Design for the Environment」標章。這是全球半導體產業首度獲得此殊榮的產品，顯示ATMI在環保產品的研發上不惜投入成本與人力，在提升產品效能的同時，也顧及健康與環保需求。

該產品是結合「12 Principles of Green Chemistry」(綠色化學品12個準則)以及「12 Principles of Green Engineering」 (綠色工程的12個準則)的2個核心準則來設計，與客戶合作並透過 ATMI 的高效率研發(High Productivity Development)設備，研發團隊得以開發出全新、低臭味且對環境無害的配方，創造高效率、低成本的產線中清洗方式。 ATMI執行副總Tod Higinbotham表示：「我們將12 Principles of Green Chemistry視為ATMI的Green DNA，確切落實在設計、製造的每個環節中，嚴謹地控管ATMI所生產的化學產品與材料，並以最有效率的方式提供符合客戶需求的產品。達到 EPA 標準並榮獲 DfE 標章，是我們積極邁向化學及材料發展的第一步。」

基準清潔(Baseline cleanliness) 對積體電路 (IC) 製程環境來說，是至關重要的部分，而隨著越來越多的先進電子產品尺寸要求輕薄短小化，晶圓處理環境中的晶圓表面與其他表面的清洗更顯關鍵。除安全與環境考量外，與過去的方法相比，該產品強化的清洗效能在不影響良率的前提之下，不但可提升生產率，對製程更無其他影響。

Tod 指出：「半導體的製造是否能達到環保的具體成效，相關材料的選擇佔了很重要的一環。未來，在材料的選用上，會有更多的原物料將取自可再生素材、可生物分解的物質，不論在使用上或棄置後，皆不會對環境、人類造成損害。」

對材料廠商而言，為客戶提供一個兼具效率和環保的解決方案，就是實踐綠色製造的最佳方式。因此，ATMI將「環保」與「永續經營」納入新產品研發設計時的基本原則。另一方面，供應商管理團隊則積極爲客戶尋找符合其需求的解決方案，並評估遴選合格的供應商作為合作夥伴。

目前國際間針對環境保護已有RoHS、LEED等標準，而在高科技製造方面，則有SEMI的相關產業技術標準作為製造商和設備材料供應商溝通和設計產品的準則。Tod指出，ATMI所有的產品都符合SEMI制定的相關國際產業技術標準。此外，ATMI從一開始就嚴謹檢視所有的新化學產品，執行各個階段性的控管，確切檢測我們在量產機台中的化學產品，確保這些物質不在RoHS或JIG Green list等環保違禁品清單中，同時會主動提交相關檢驗表單給客戶。

除了上述法規和標準之外，最新的環保趨勢是遵守EICC (電子工業行為準則)。EICC涵蓋的範圍包括：勞工、環安衛、商業道德規範、管理系統要素，以及排廢、污染等對環境的影響。「我認為產品要透過相關稽核認證，才能算得上真正實現綠色管理」Tod說。

Tod強調，在評估環保成效時，需要針對產品本身的整個Life Cycle作全盤性的考量，也要從「無毒」和「節能」之間，找到一個對環境最友善的平衡點。Tod指出：「我們的高效率研發(High Productivity Development)能力會持續地為我們的客戶和合作夥伴帶來突破性的解決方案，同時達到兼顧生產效益和環保的目標。」

儘管半導體製程中牽涉到許多技術和商業機密，然而面對綠色管理和綠色製造的趨勢，Tod認為，未來客戶和供應商更應該要建擴大信任基礎，更開誠佈公的去分享資訊，共同設定綠色製程的目標，才能從設計就植入綠色概念，提升企業，甚至是產業的綠色競爭力。

SEMI 採訪整理